中古 BROOKS AUTOMATION Lot of (4) Robots #293621707 を販売中

BROOKS AUTOMATION 182320は、研究開発、製造、環境におけるさまざまなウエハハンドリング作業に最適な輸送プラットフォームです。モジュール式に設計されているため、ユーザー固有の要件を満たす柔軟性を備えてカスタマイズできます。182320の汎用性により、想像可能なほとんどの操作に合わせて調整することができます。BROOKS AUTOMATION 182320は、高度なセンシング技術とソフトウェアで構築され、正確で信頼性の高い制御を提供します。それは5度までの移動性を提供し、予めプログラムされた梯子のステップで毎秒9。8インチまで移動します。これにより、さまざまなプロセスでのウェーハの取り扱いや転送に適しています。182320は、3、4、または6インチの直径で最大12ウェーハを保持できるグリッドLoc™ウェーハホルダーを備えています。個々のグリッドセクションは、2つのミックス2または4インチの寸法のいずれかを設定できます。ウェーハホルダーの各アームは独立して制御することができ、正確な配置のために90度まで傾けることができます。BROOKS AUTOMATION 182320には、3軸オープンアーキテクチャモーションコントローラとロータリーエンコーダも内蔵しています。これにより、最大5軸の動作が可能になり、ある機械から別の機械にウェーハを転送するような複雑な作業や、マスク整列時のパターン成膜に最適です。また、各タスクの加速度、速度、位置を正確に制御できます。さらに、182320には複数のコネクタがパネルに配置されているため、さまざまな目的で簡単にマシンを構成できます。ブルックスオートメーション182320は、高精度と信頼性を確保するように設計されています。高度なソフトウェアとセンシング技術により、正確なロボットの動きを可能にし、堅牢なプラットフォームは、マシンが適切な位置に留まり、スムーズに移動し続けることを保証するのに役立ちます。これにより、さまざまな処理および研究環境での連続的なウェーハ生産および処理に最適です。