中古 BROOKS AUTOMATION Lot of (2) Robots #293621700 を販売中

BROOKS AUTOMATION 195402は、さまざまなウエハハンドリング作業を行うための電動ガントリーを搭載したウェハハンドラです。ウェーハハンドラは、ウェーハとウェーハの接触が必要な場合に、ウェーハを操作し、均一なウェーハ間隔を作成するように設計されています。最大4軸の動作と自動化された操作が可能です。196402は、外部オペレータなしで、高い精度でウェーハを転送および整列することができる完全自動化されたデバイスです。ウェーハは入出力ポートを介してロードおよびアンロードされ、真空吸引で確実に保持されます。真空誘導ロボットアームは、電動ガントリーを使用してウェハを所望の目的地に移動します。モーションアックスは個別に調整可能であり、ウェハの向きは適応可能です。195402は、200mmから300mmまでのさまざまなウエハサイズと基板をサポートすることができます。また、複雑な形状とシンプルな形状の両方に対応するように設計されています。ロボットアームの微細精度とハンドラの小型化により、精密な用途に適しています。196402は、例えば、ウェーハフリップやポジショニング、およびチャンバとシステム間の複雑なウェーハ転送に使用できます。ウェハハンドラは既存のシステムと強力に互換性があり、多数の通信プロトコルを備えています。スタンドアロンシステムとして操作することも、より大きなオートメーションネットワークの一部として統合することもできます。自動化された操作により、迅速かつ並行した操作が可能になり、スループットが向上します。BROOKS AUTOMATION 195402ウェーハハンドラは、調整可能で柔軟性のある効率的で信頼性の高いデバイスです。高度なオートメーションをさまざまなシステムやプロセスに統合することができます。汎用性の高い設計と微細な精度により、さまざまなウェーハ処理ニーズに適しています。