中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Votan G08 #9171939 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Votan G08は、直径8インチまでのウェーハの取り扱いと処理を自動化したウェーハハンドラです。JENOPTIK Votan G08は、高いスループットと信頼性の高いウェーハ処理と処理能力を提供します。革新的な機械設計により、スループットが向上し、プロセス制御が強化されています。BROOKS AUTOMATION Votan G08は、ウェーハのスムーズで安全な取り扱いを保証するように設計されています。ロボットアームは最大230 mm/秒の速度で移動しながら最大1kgの負荷を持ち上げることができます。モーションパスは、6つのステッピングモーターと0。002 mm以内の正確なボールネジ装置の配列によって定義されます。また、光学位置フィードバックユニットを搭載し、正確な再現性を確保しています。Votan G08は、単一のウェーハとウェーハカセットを同時に処理することができます。ウェーハステージ安定装置を搭載し、安定した正確なウェーハ配置とハンドリングを実現しています。ウェーハステージは、光透過と吸収を保証する日本のガラスミラーとアクリル/アルミ合金構造で構成されています。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Votan G08は、独自の粘着性ベースのウェーハ処理技術を使用しており、ツールを通過する際にウェーハを安全にホールドできます。JENOPTIK Votan G08は、いくつかの環境センサーを使用して、ウェーハの取り扱いと処理のための制御環境を確保します。環境モニタリング資産には、CO2センサー、湿度センサー、温度センサーが含まれ、最適な動作条件を保証します。BROOKS AUTOMATION Votan G08は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。直感的なグラフィカルインターフェイス制御（GUI）により、モデルの操作を簡単に監視および制御できます。さらに、ウェーハ環境とプロセスパラメータの操作を可能にするプロセス制御モジュールを備えています。Votan G08は、正確で高速で安全なウェハハンドリング、処理、管理を必要とするアプリケーションに最適です。高度な設計により、ウェーハの取り扱いと加工において最高レベルの性能、信頼性、安全性を保証します。計測、検査、ウェーハベーキングなど、幅広い用途に最適なソリューションです。