中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411479 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionは、ウェーハ製造施設内の半導体ウェーハの処理用に設計された堅牢な産業用グレードのロボットウェーハハンドラです。さまざまなロボットサブシステムで構成されており、統合されたウェーハハンドリングシステムは、ウェーハを処理モジュールとステージ間で転送するための完全なウェーハハンドリングシステムを提供します。JENOPTIK Visionロボットマニピュレータは、さまざまなウエハを扱うように設計されています。ウェーハ製造施設内で搬送用のウェーハを把握・オリエントできる4軸ロボットアームを搭載しています。フロアにはBROOKS AUTOMATIONビジョンベースのナビゲーションマーカーとナビゲーションマーカーを搭載し、正確なウェハ配置を実現しています。ウェーハの位置は、ウェーハの相対位置を検出および制御できる真空フィードスルーチャンバーを使用して監視されます。ロボットアームは高精度のサーボモータによって駆動され、正確で高速なモーションコントロールを提供します。ロボットはまた、システム内の任意の潜在的な事故を検出し、停止することができる統合された安全システムを持っています。また、ウエハクリーンとプリクリーニングステーションを統合し、スピンドライヤーとウェハクリーニング用の高圧洗浄機を備えています。また、ミッションプランナーを搭載し、複数のウエハハンドリングプログラムを同時に実行することができます。また、BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionロボットは、ウェーハのリアルタイム監視も可能で、万が一の事故を検知するために、搭載センサーやカメラの助けを借りて障害物の検出、停止、および安全状態の監視が可能です。その組み込みソフトウェア機能は、異なるロボット間の動作、プログラム、および調整タスクを制御することができ、位置、速度、およびプログラムシーケンスを自動的に管理します。JENOPTIK Visionは、他の処理機器と接続するための通信およびデータインタフェースも提供しています。効率的かつ精密なウェーハハンドラであり、ウェーハを転送するための柔軟性、高速性、および精度を提供し、ウェーハ製造設備のための信頼性の高い統合されたオートメーションソリューションを提供します。