中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411478 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionは、半自動・全自動プロセス向けに設計された高度なウェーハハンドリングロボットです。半導体製造ラインにおいて、センターカセットからロボット搬送トラック、レーザー、バッチローダー、エッチャーなどの各種ウェハサイズの搬送が可能です。このロボットは、非常に正確な動きを提供し、最低限のオーバーヘッドで確実にウェーハを提供するように設計されています。JENOPTIK Visionは、高度なBROOKS AUTOMATION Visionシステムを採用し、ウェーハの位置とサイズを特定して追跡し、ロボットアームをピックし、+/-2。3ミクロンの再現精度と0。12ミクロンの精度でウェーハを配置します。2軸ターンテーブルは4000 RPMで、傾き範囲はプラスまたはマイナス30度です。腕の斜めの動きはDCモーターによって動力を与えられ、大きい間隔上の速く、精密な動きを可能にします。さらに、ロボットアームは34kgを搭載することができ、ウェーハの高い処理能力を確保します。Visionには、ウェハハンドリングが安全に実行されるように設計された複数の安全機能もあります。これらには、ガードが開いているときにロボットを無効にする安全評価のEPS認定インターロック、およびモータのトルクセンサーと過負荷保護が含まれます。さらに、ロボットは、生産ライン上の他の要素と通信するための標準的なRS-232接続で設計されているため、簡単に自動化された生産ラインに統合することができます。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionは、追加ソフトウェアなしでお客様のプログラマブルロジックコントローラに直接統合するようにプログラムすることもできます。JENOPTIK Visionは、生産プロセスを合理化するためにウェーハを処理および転送するための強力で正確かつ高精度なツールです。BROOKS AUTOMATION Visionシステム、ロボットアーム、トルクセンサ、過負荷保護および安全システムなど、さまざまな機能を備えており、ウェーハの信頼性と安全性を保証し、スムーズで効率的な動作を保証します。