中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411359 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionは、半導体の製造方法を改善するために設計された次世代ウェハハンドラです。高性能な半導体製造に関連するタイミング、精度、歩留まりの厳しい課題に対処するために、スループットの向上、最適化された品質管理、オンザフライのプロセス監視を提供します。JENOPTIK Visionウエハハンドラは、必要な数のチャンバーとプロセスを備えたクリーンルームを介してテーパーウエハカセットを横断するロボットアームです。アームには、カスタマイズされたエンドエフェクター（グリッパー）があり、各ウェハカセットを正確かつ迅速にピックアップして配置するように特別に設計されています。このハンドラは、特許取得済みのロードロックメカニクスを使用して、さまざまなプロセスのカセットの配置と転送を容易にすることで、スループットと柔軟性を最大限に高めるように設計されています。この装置は、直感的でユーザーフレンドリーで高速なコマンドアンドコントロールシステムを採用しているため、エンジニアはリアルタイムで迅速かつ安全にプロセスパラメータを微調整できます。オートメーションユニットは、最新の業界標準のプロセスおよびコンポーネントと互換性があり、お客様に統合しやすく最新のソリューションを提供します。BROOKS AUTOMATIONビジョンウェーハハンドラーは、RFIDベースの衝突回避マシンを含む安全機能と、潜在的な障害物と衝突する前に自動的に停止するように調整できる衝撃吸収構造を備えています。さらに、自動化されたメンテナンス機能により、必要に応じてツールをリモートで監視、校正、修復できるため、ダウンタイムを短縮できます。全体として、Visionは半導体製造のための洗練された自動化ソリューションを提供します。最適なスループット、柔軟な運用、最先端のオートメーション資産により、ウェーハハンドラは、大量生産の課題に対処するための信頼性と費用対効果の高い方法を探している製造施設に最適です。堅牢な設計により、長期にわたって一貫した操作と品質管理が保証されます。