中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #293624682 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionは、半導体業界のロボット自動化に使用されるウェハハンドラです。ウェーハ加工プロセスの手動処理を排除するように設計された、完全に自動化されたウェーハハンドリングソリューションです。ウェーハを扱うための安全で効率的で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。JENOPTIKビジョンウェハンドラは、高いスループットと精度を提供するように設計されています。複数のセンサーとBROOKS AUTOMATION Visionを搭載し、ウェーハの欠陥を検出して測定することができます。さらに、Visionシステムはウェーハの向きを認識し、ウェーハの取り扱い方向を自動的に調整することができます。これにより、ウェーハハンドラはウェーハタイプをすばやく切り替えることができ、サイクルタイムを短縮できます。ウェーハハンドラは、さまざまな種類のウェーハを処理するための多くのメカニズムを利用しています。例えば、ベルトフィーダユニットを使用して、ローダーから成膜段階に順次ウェーハを供給します。さらに、ウェーハをステージ間で安全に転送するために使用される真空ベースのチャックと帯電防止コンタクトパッドを備えています。これにより、ウェーハの汚れや脱落を防ぎます。ウェーハハンドラには、写真リソグラフィやエッチングなどの重要なステージに精度と再現性を提供するマイクロポジショナーマシンも装備されています。マイクロポジショナーは、重要なプロセスの精度を保証する同じウェーハ上の複数のダイのアライメントにも使用されます。これらのメカニズムに加えて、BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Visionウェハハンドラには、高速で簡単なプログラミングを可能にするユーザーフレンドリーなLinuxオペレーティングツールも付属しています。これにより、スループットを最大化し、コストを削減するためのプログラムを迅速に設定および調整できます。最後に、ウェハハンドラは複数の安全プロトコルで設計されています。非常停止アセットを装備し、安全でない入力を防ぐように動作モデルが設計されています。さらに、すべてのモジュールにアクセスしてリモートで監視することができ、機器の最大限の柔軟性と制御を可能にします。JENOPTIK Visionウエハハンドラは、半導体産業におけるロボットオートメーションのための効率的で費用対効果の高いソリューションです。正確に制御されたメカニズム、巧みなBROOKS AUTOMATION Visionシステム、ユーザーフレンドリーなLinuxオペレーティングユニット、および安全プロトコルを組み合わせることで、ウェーハハンドラーはウェーハ製造プロセスに信頼性が高く効率的なツールを提供します。