中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200ウェーハハンドラは、半導体製造アプリケーションにおけるウェーハの積み降ろし用に設計された自動ロボット装置です。滅菌環境でのウェーハの正確な取り扱いを実現します。JENOPTIK SLR 200には、静電気放電（ESD）保護ユニットが搭載されており、静電気によるウェハの損傷を防ぎます。効率的なアクチュエータを使用すると、ウェーハを手動のロードとアンロードの2〜3倍速くツールから移動できます。このマシンは1820mm/sのピークスピードに達することができ、100µm〜200mmのサイズのウエハーに対応できます。高速プログラミングを可能にするマッピングツールや、1分間に最大50個のウェーハを処理できる機能など、幅広い機能を提供しています。このツールは、単一のサイクルですべてのウェーハの種類とサイズを識別できる統合ビジョンアセットを使用して、生産性を向上させるように設計されています。また、ウェーハ配置精度も高く、再現性は0。2mmと高い。BROOKS AUTOMATION SLR 200は、スループットを向上させるために、他のローダー/アンローダーおよび真空ロボットと組み合わせて使用することもできます。また、緊急停止ボタンや赤外線センサーなど、さまざまな安全機能を備えています。これにより、ウェーハは安全で安全な方法で処理されます。システムには直感的なユーザーインターフェイスも含まれており、簡単な操作とプログラミングが可能です。全体として、SLR 200 Wafer Handlerは、半導体製造アプリケーションにおけるウェーハのローディングとアンロードのための効率的で信頼性の高いプラットフォームです。幅広いウエハサイズ、正確な配置、高速化に対応できるため、生産性の向上と自動化に最適です。