中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9097054 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200は、薄膜プロセス自動化に使用されるウェハハンドラです。コンパクト設計、信頼性の高いハンドリング、低クロスコンタミネーションなど、半導体業界の厳しい要求に応えるよう設計されています。JENOPTIK SLR 200は、フレームとウェーハを保持する2つのサーボコントロールハンドで構成されています。ウェーハのロード/アンロードに伴うダウンタイムを低減し、エラーの可能性を低減するように設計されています。BROOKS AUTOMATION SLR 200は、直径16インチ、厚さ4。5mmまでのウェーハを取り扱うことができます。手はウェーハの端を握ることができ、輸送中にきちんと配向され、しっかりと固定されています。ウエハハンドラはACモータで駆動され、高度なモニタリングシステムを組み込み、ウエハハンドリング処理を可能な限り効率的に行うことができます。また、不適切な取り扱いによる損傷からウェーハを保護する安全機能も備えています。SLR 200は信頼性が高く、操作が簡単で、少数のキーストロークにより、オペレータは処理のためにそれをプログラムすることができます。表面の欠陥を迅速に検出し、ウェーハ表面の接点を正確に特定することができます。ソフトウェアはまた、簡単なプログラミングを可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200は、ウェーハを正確に処理するためにウェーハハンドラを制御するためのオートフォーカスやパターン認識などの高度な機能を備えています。それはまた統合されたレーザー切断装置および電気システム試験部品を含んでいます。JENOPTIK SLR 200は、堅牢で信頼性の高い安定したウェハハンドリングソリューションを提供するように設計されています。また、ハードマスキング、カプセル化、薄膜沈着、拡散など、さまざまな薄膜プロセスに対応できるように設計されています。結論として、BROOKS AUTOMATION SLR 200は、半導体業界のニーズに応えるために設計された、費用対効果の高い堅牢なウェハハンドラです。信頼性が高く使いやすく、高度な機能により、さまざまなサイズや形状のウェーハを扱うための汎用性の高いツールです。