中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #9159888 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25は、半導体ウェーハとカセットの効率的な積み降ろしのために設計された自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、直径200mmまでのウェーハを取り扱うことができ、さまざまなカセットサイズに対応できます。このユニットは、3軸サーボ駆動ロボット、ロボットのベース、制御コンピュータ、オペレーティングマシン、およびローディング/アンロードステーションで構成されています。このロボットには、2つのリニアモーションステージと1つの回転モーションステージが装備されており、正確なウェハとカセットのロードとアンロードが可能です。これらのモーションステージは、高速サイクルタイムと信頼性の高いパフォーマンスを提供します。このツールはまた、赤外線検出器と明るいLED光源を備えています。これにより、カセットの積み降ろし時のウェーハ位置の正確な識別が可能になります。これにより、カセットが手動で介入することなく正しい方向にロードされることも保証されます。JENOPTIK Fixload 25は、クッション付きコーナー、自動ウェハレベルセンサー、カセットレベルセンサーなどの安全機能を使用して、効率的で正確なローディングとアンロードを実現します。これにより、ウェーハがローディング/アンロード・ステーションに確実に入り、カセットが正しくロードおよびアンロードされるようになります。このアセットには、モデルパフォーマンスを監視し、オートメーション作業を調整するために使用される高度なソフトウェアスイートもあります。このソフトウェアには、オートメーションプロセス中のエラーから機器を保護するための統合安全機能も含まれています。BROOKS AUTOMATION Fixload 25は効率的で正確なウェーハハンドリングシステムです。そのロボットとモーションステージは、高速サイクルタイムと信頼性の高いパフォーマンスを提供します。統合されたソフトウェアおよび安全機能はまたより大きい単位保護を可能にします。