中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #293645362 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25ウェハハンドラは、マイクロエレクトロニクスにおけるウェハトランスポートとトランスファーに最適な汎用性の高いソリューションです。この自動ウェーハローダーは、ほぼすべてのタイプのウェーハに対応し、処理ステップ間で確実にウェーハを輸送できます。フレキシブルな設計により、インラインまたはスタンドアロンの操作に最適です。このユニットの設計には、リニアアクチュエータ、チルテーブルウェーハカセット、ピックアンドプレイオペレーション、ウェーハエンコーダ、エリアアレイトランスデューサの5つの主要コンポーネントが含まれています。リニアアクチュエータは、カセットからウェーハエンコーダにウェーハを持ち上げて押す責任があります。傾斜可能なウェーハカセットは、ほぼすべてのウェーハサイズと重量に対応するように設計されており、ウェーハの連続積み下ろしに使用できます。ピックアンドプレイス操作により、あらゆる角度でウェーハの正確な移動と位置決めが可能です。直接クローズドループ制御とインライン測定により、正確な再現性、精度、スピードを実現します。ウェーハエンコーダは、ウェーハトランバースプレーンを識別するように設計されています。この洗練されたシステムにより、ウェハは望ましい角度と深さに簡単に配置できます。エリアアレイトランスデューサは、0。5micrometerの精度で最大10。5micrometersの線形およびオプション分解能を使用します。ウエハエンコーダと組み合わせることで、繰り返し可能で正確で正確なウエハトランスファーを実現します。さらに、アナログ制御やデジタルデバイスモニタリングを含む複数の制御および通信インタフェースにより、最適な柔軟性とパフォーマンスを実現します。全体として、JENOPTIK Fixload 25は信頼性が高く、高精度で汎用性の高いウェハハンドラです。高度な制御システムと柔軟な設計により、インラインとスタンドアロンの両方のプロセスで正確な再現性のあるパフォーマンスを実現します。さらに、その信頼性の高い性能と低いメンテナンス要件により、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに好ましい選択肢となります。