中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed X-rok30M/R #9035752 を販売中

JENOPTIK Ergospeed X-rok30M/Rウェーハハンドラは、ウェーハローディング、アンロード、ソートプロセスを自動化するために設計された高精度のウェーハトランスファーおよびハンドリングシステムです。その結果、ウェーハの積み降ろし作業の精度を向上させ、運用コストを削減することができます。Ergospeed X-rok30M/Rには、縦X軸と横Y軸の6軸ロボットアームが装備されています。ロボットアームは、最小0。1mmの位置決め精度で8インチまでのウェーハサイズに対応可能です。また、製品の積み下ろし作業を最適化するための高速計量アームも備えています。Ergospeed X-rok30M/Rは、さまざまな運用シナリオのためのさまざまなオペレーティングモードも提供します。「穴の供給」モードでは、ロボットアームはマガジンフレームからウェーハを自動的に見つけて取り出すことができ、手動での介入を排除します。同様に「、counted supply」モードを使用すると、ロボットアームは、各ローディングサイクルの後にマガジンに残されたウェーハの量をオペレータに通知し、正確さを確保することができます。Ergospeed X-rok30M/Rには、ローディング、アンロード、ソート作業中にウェーハが損傷したり汚染されたりしないようにするためのさまざまな安全メカニズムもあります。これには、ロボットアームがマガジンフレームの中心から遠く離れないようにするアンチディフレクションシステムと、正確で穏やかなウェハハンドリングを確保するためのデュアルスピードと圧力制御が含まれます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed X-rok30M/Rウェーハハンドラは、効率的で信頼性の高いウェーハローディング、アンロード、並べ替え作業を可能にする高度なシステムです。6軸ロボットアームと各種動作モードにより、効率的かつ正確なウェーハ処理を実現します。また、さまざまな安全機構により、動作中にウェーハが損傷しないようにします。このため、Ergospeed X-rok30M/Rは高精度のウェハハンドリングアプリケーションに最適です。