中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTSL/L #9032626 を販売中

JENOPTIK Ergospeed LPTSL/Lウェハンドラは、半導体業界の自動ハンドリングプロセス用に設計された高精度シングルモータドライブ装置です。スムーズで低振動の駆動システムと高速動作機能を備え、信頼性の高いウェーハ処理を実現します。ボールベアリングのリニアガイドウェイを再循環させるシングルモータドライブユニットと、優れた速度とトルクを提供するDCサーボモータを採用しています。加速と減速を素早く行うため、ウェーハハンドラは軽量で重量のあるウェーハの取り扱いに適しています。ツインベアリング対応のガイドレールにより、あらゆるプロセス動作の精度と再現性が保証されます。Ergospeed LPTSL/Lウェハンドラは、オープンループやクローズドループ制御など、幅広いモーションコントロールオプションを提供します。また、ユーザーは、実行中の特定のウェーハ処理プロセスに応じて、速度、加速度、減速、トルクレベルを調整することができます。さらに汎用性を高めるために、ウェハハンドラはマルチステップの複雑な移動、ペアリングされた移動、ホーミング、手動ジョグなど、さまざまな高度な機能を実行することもできます。Ergospeed LPTSL/Lウェハンドラは、ウェハハンドリングプロセスの安全性と信頼性を確保するために設計されたさまざまな安全機能を備えています。これらには、プロセス中にエラーが発生した場合に中断しない動作を保証するための自動再開および自動再起動機能、および動作中の距離と速度を正確に測定するための内蔵エンコーダが含まれます。さらに、ウェーハハンドラは、外部環境からの保護のために耐久性のあるステンレススチール製シャーシを使用し、長期間の使用を保証します。さらに便利に、Ergospeed LPTSL/Lウェハンドラを簡単に機械に組み込むことができ、あらゆる環境で簡単に使用できます。直感的なソフトウェアインターフェイスとカスタマイズ可能な設定により、シンプルで複雑なウェハハンドリングのニーズに合わせた手動および自動化されたウェハハンドリングプロセスに適しています。ウエハハンドラには、モジュラーツーリングシステムや高度なビジョンシステムなど、さまざまな互換性のあるアクセサリが付属しており、ウエハハンドリングオートメーションの完全なソリューションを提供します。BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTSL/Lウェハンドラは、精度、再現性、スピードを必要とするあらゆる半導体プロセスに最適です。効率的で安全で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションを提供し、操作とツールへの統合が容易です。高品質な構造と高度なモーションコントロール機能により、このウェハハンドラは信頼性の高い正確なウェハハンドリングプロセスを保証します。