中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/R #9032627 を販売中

JENOPTIK Ergospeed LPTS/Rウェーハハンドラは、半導体加工およびウェーハ加工用に設計されています。このウエハハンドラは、今日の技術的に高度な半導体メーカーのニーズに応えるために設計された包括的な機能セットを提供するオールインワンソリューションです。LPTS/Rは、ユーザーに正確なウェーハ転送と正確なアライメントプロセスを軽量設計で提供します。BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTS/Rウェーハハンドラは、高度なリフトとパネルアライナー装置で設計されています。リフトとアライナーシステムは、リフトステーションとアラインメントステーションの2つのコンポーネントで構成されています。リフトステーションは、アラインメントステーションへの転送中に正確かつ再現性のある配置を確保するために、ウェーハをベースから積極的に持ち上げます。そこで、アライメントステーションは完璧なパネル転送を確実にするためにウェーハを正確に整列させます。Ergospeed LPTS/Rは、リングカセット、六角形、長方形、正方形の基板など、さまざまな基板サイズと形状をサポートしています。また、クロージングメカニズムを備えたロードポートも提供しており、手動または自動化された操作用に構成することができます。さらに、各ポートには、負荷状態を視覚的に識別するためのLEDインジケータ、および障害や損傷を正確に検出するためのロードロックセンサーが装備されています。LPTS/Rウエハハンドラは、その性能とユーザビリティを向上させるいくつかの追加機能を備えて設計されています。リフトモータープレートは16個の独立したブラシレスモーターで構成され、スループローディングとサイクルタイムの短縮を可能にします。リフトループ構造は、ハンドラーが300mmのリフト高さを維持するのに役立ちます。この設計要素は、機器の消費電力を削減するためにも機能します。さらに、ハンドラはモジュール式のユニットアーキテクチャを採用しており、部品や部品を簡単に交換できます。これにより、ユーザーのメンテナンスが最小限に抑えられ、マシン全体がピーク効率で実行されるようになります。最後に、Ergospeed LPTS/Rは、ユーザーと機器を保護するための高度な安全メカニズムで設計されています。2ポイントメカニカルリミットスイッチはリフトとパネルアライナーの両方を保護し、ESD保護は静的な蓄積を抑制します。緊急時には、このツールはまた、緊急停止、デュアルインターロックシステム、および電源障害アラームを備えています。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/Rウェーハハンドラは、正確なウェーハ転送、正確なアライメントプロセス、信頼性の高い安全メカニズムを求めるユーザーに最適なソリューションです。このオールインワンソリューションは、ペースの速い半導体業界の要求に応えるために必要な機能をユーザーに提供します。