中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/L #9032628 を販売中

JENOPTIK Ergospeed LPTS/Lウェーハハンドラーは、半導体加工のための人間工学的に設計されたユーザーフレンドリーなウェーハハンドリング装置です。今日の市場で最も信頼性が高く堅牢なウェーハハンドラの1つであり、プロセス互換性、堅牢性、およびリスク軽減のための顧客ニーズを満たすように設計されています。LPTS/Lは、極めて薄型のウエハハンドリングシステムを提供し、床や卓上マウント用のコンパクトな設計を特徴としています。BROOKS AUTOMATIONは、特許取得済みの超塩化物フリー表面保護技術を搭載しており、直径8インチ、厚さ7。5ミクロンまでの20インチおよび25インチのcspウェーハを確実に処理できます。72dBa以下の静かな操作が特徴で、クリーンルーム環境に最適です。LPTS/Lはアルミニウムおよびステンレス鋼から組み立てられ、あらゆるクリーンルームのテーブルか床に取付けることができます。LPTS/Lは、0。02秒のウェーハ間速度と0。1秒のウェーハ間速度を備え、比類のない精度と再現性を提供し、大容量アプリケーションに最適です。トータルリフト容量は500グラムで、オプションの「プルーフロード」機能により、正しいウェーハとカバーがロードされます。また、自動ウェーハカセット認識、ウェーハエクスカルシア検出および補正、および自動プロバーサイト検証も備えています。LPTS/Lは、標準のシリアルインタフェースと、ウェーハの位置を追跡して効率的な処理を保証するオプションの自動ウェーハ追跡ツールを備え、既存のオートメーションシステムに簡単に統合できます。さらに、お客様固有のプロセスシステムは、特別なソフトウェアモジュールの提供から実装することができます。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/Lウェハハンドラは、現代のウェハハンドリング機器の印象的な例です。薄型設計、低ノイズ動作、並外れた精度と再現性により、半導体加工アプリケーションに最適です。さらに、ユーザーフレンドリーなオペレーティングアセット、統合されたオートメーション、およびお客様固有のソフトウェアモジュールにより、最高グレードのウェーハ処理ニーズに対応する汎用性の高いソリューションとなります。