中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280883 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、ウェハベースの生産プロセスを自動制御するために特別に設計されたウェハハンドラです。各工程の間でウェーハを安全に搬送することができ、効率的かつ確実な運用が可能です。JENOPTIK Ergospeed IIは、高いスループット能力を備え、最大毎秒2。7メートルで動作するため、生産時間の向上とダウンタイムの最小化を実現します。このウェハハンドラは、3次元X-Y-Zリニアアクチュエータ、エアベアリングステージ、および真空ベースのウェハグリップ装置を含む一連の独立したロボットコンポーネントを備えています。すべてのコンポーネントは、すべての3つの軸で複雑な動きを可能にするスマートモーションシステムに統合されています。アクチュエータはウェーハの動きをできるだけ正確に制御するように設計されていますが、エアベアリングステージはウェーハの安定した安全な動きを提供します。真空ベースのウェーハグリッピングユニットは、安全で反復可能なグリップを備えており、ユーザーに信頼できる位置決め精度を提供します。さらに、衝突防止センサーやプログラム可能な安全ルールなど、さまざまな統合安全機能も備えています。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、ステッパーやスキャナーなどのマシンからロボットアームまで、既存のさまざまなマシンプラットフォームとの互換性を目的に設計されています。ウェハハンドラは半自動プロセスに組み込むこともでき、手動操作が必要なアプリケーションに最適です。また、幅広い成膜および分析システムにも対応しています。全体として、Ergospeed IIは、優れたスループット機能と安全性を提供する信頼性の高いウェハハンドラです。独立したロボットコンポーネント、統合されたモーションマシン、および統合された安全機能により、さまざまな生産段階の間で効率的かつ安全にウェーハを転送でき、毎回品質の高い結果が得られます。