中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280881 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIウェーハハンドラは、200mmおよび300mm半導体ウェーハの自動生産用に設計された高性能なロボット配送装置です。このロボットアームは、リソグラフィ、エッチング、拡散、研磨などのウェハ加工や、異なる製造工程と試験工程の間のウェハ移動やウェハ搬送に使用されます。ロボット操作は、タッチスクリーンディスプレイを備えたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して簡単に制御できます。ハンドラーの人間工学に基づいた設計は、高品質の最終製品を確保しながら、ウェーハの取り扱いを安全かつ効率的にします。ハンドラーには、内部のライトバリア、緊急停止ボタン、余分な保護のためのインターロック機構などの高度な安全機能が装備されています。また、前後の動きをスムーズに遷移させるデュアルクラッチシステムと、ロボットアームを高精度に全方向に移動させる特許取得済みのデュアルジョイントドライブユニットを内蔵しています。この設計はさらに、手動でのローディング/アンロード処理を排除し、大規模なウェハ製造工程の自動化を可能にする完全自動ウェーハ転送機で補完されています。JENOPTIK Ergospeed IIウェハンドラは、高トルクのトルクモータとエンコーダフィードバックを搭載したモータ駆動スピンドルで動作します。これにより、高速なウェーハ回転速度を実現しながら、高精度な動作を実現します。高度な真空吸引機構は、ウェーハを損傷なく確実に保持して転送しますが、いくつかのセンサーは真空圧力を監視し、フェイルセーフで一貫したピックアップを保証します。また、ハンドラの正しい使用を保証するさまざまなメンテナンスインジケータも備えています。可聴アラームは定期的に鳴り、オペレーターにすべての安全および制御機能を検査および調整するように警告します。メンテナンスリマインダーも用意されており、いつ、いつ、どのようにロボットのメンテナンスを行うかを指定することができます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIウェーハハンドラは、自動生産ラインでのウェーハ処理と搬送に信頼性の高い高品質ソリューションを提供する強力なロボットアームです。