中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280754 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、半導体の製造におけるロボット支援動作を最適化するために設計された効率的なウェハハンドラです。このウエハハンドラは、最小限の品種部品とコンベヤーベルトを備えたロボットアームでできています。ウェーハプロービング、ローディング、ウェーハ転送、アンロードなどのタスクを実行できます。JENOPTIK Ergospeed IIは、ウェハプロービング、ローディング、トランスファー、アンロードを行うガントリー装置を備えたロボットアームで構成されています。このガントリーロボットシステムは、最大6つのウェーハを同時に処理できるコンパクトな設計を提供します。さらに、BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIのロボットアームは、精度と性能を考慮して設計されています。+/-0。03mmの精度は、500mm x 500mmのワーキングゾーン全体で達成可能です。Ergospeed IIのウェーハローダーセクションは、スタッカーの負荷とアンロード機能と完全に統合されています。ローダーメカニズムは、最大500個のウェーハの連続的なバッチローディング、アンロード、およびストレージを可能にするように設計されています。ロボットアームとローディングメカニズムの間でウェーハを搬送するコンベアベルトユニットにウェーハを配置するメカニズムが追加されています。このコンベアベルトマシンは、クローズドループ反応を利用して、最高150mm/秒の正確な位置決めと速度を保証します。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIのその他の特徴は、-10〜+40°Cの広い動作温度範囲と、ほこりなどの粒子がユニットに侵入して性能に影響を与えることを防ぐためのシールエントリポイントがあります。さらに、JENOPTIK Ergospeed IIは、ツールのメンテナンスと診断のためのツールと、迅速なセットアップと構成のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを内蔵しています。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIウェーハハンドラは、コンパクトな設計、精度、強力な性能を兼ね備えた半導体製造アプリケーションに最適です。最先端のロボットアーム、ローダー、コンベアアセットは、機械軸の動きを最小限に抑え、精度と信頼性を確保しながら出力を最大化するように設計されています。