中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280753 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、バイオメディカルおよび半導体アプリケーション向けに、正確で信頼性の高いウェハハンドラです。JENOPTIK Ergospeed IIウェーハハンドラは、1 μ m以下の精度で半導体ウェーハを1時間あたり2000ウェーハ以上の速度で転送、整列、ソートできる自動ロボットデバイスです。ロボットのプラットフォームは、大容量の生産アプリケーションのために最大負荷15kgの最大3つのウエハを保持するように構成することができます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIのフレームは、炭素繊維複合ロボットアームを備えた陽極酸化アルミニウム製で、5軸での移動を実現し、幅広い複雑な動きを提供します。このロボットには、Delta PLCモーションコントローラとサーボ駆動のリニアアクチュエータが装備されています。これにより、高速な加速と減速時間が確保され、ウェーハ操作が高速化されます。ロボットはまた、ウェーハ上のマーカーを自動的にピックアップすることで、ロボットが迅速かつ正確にウェーハを見つけることができるビジョンシステムを備えています。このビジョンシステムはさらに欠陥検出に使用され、高度なウェハハンドリングの他の自動化されたタスクにも使用できます。Ergospeed IIは、エンドストップ検出システム、過負荷保護、動作範囲のプログラム可能な制限など、信頼性の高い動作のためのさまざまな安全機能も提供しています。これにより、ロボットが移動してもウェーハまたは機械自体に損傷を与えないことが保証されます。ロボットの最大速度は1。5m/s、最大ワークスペースは600mmです。このウェーハハンドラは、多くの生物医学および半導体アプリケーション向けのコンパクトでエネルギー効率が高く、費用対効果の高いソリューションです。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、大量のウェハハンドリング操作に幅広い動作、高速、および正確な精度を提供します。JENOPTIK Ergospeed IIは、長寿命、高い耐久性、高速動作により、半導体製造およびバイオメディカル用途でのパフォーマンスを最大化することができます。