中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280751 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、ウェーハ処理の効率、精度、スループットを向上させるために設計された最先端のウェーハハンドラです。この装置には、性能、信頼性、使いやすさを高める多くの革新的な機能が含まれています。JENOPTIK Ergospeed IIは、最大300mmウェーハを処理するように設計された超清浄システムです。最先端のフィルターシステムを使用して、ウェーハ処理環境から汚染物質を排除するため、優れた汚染制御を提供します。また、ウェーハの品質とプロセスの精度に影響を与える空気中の粒子を定期的に除去するパーティクルフィルターも含まれています。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、高解像度カメラと画像処理アルゴリズムで構成された高度なビジョンユニットを搭載しています。ウェーハの微妙な欠陥を検出し、検査時間を短縮できます。さらに、複数のロボットと統合することもでき、さまざまな場所からウェーハの動きを制御することができます。Ergospeed IIも非常に柔軟です。スピンコーティング、ウェット、ドライエッチング、酸化など、さまざまなウエハ加工が可能です。また、ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできるマルチゾーン加熱ツールも含まれています。このアセットを使用すると、ユーザーは、実行する必要がある各プロセスに最も適した暖房条件をカスタマイズできます。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、機器のパラメータや詳細なプロセス情報に簡単にアクセスできます。これにより、ユーザーはプロセスを迅速かつ正確に制御し、結果を最適化することができます。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIには、さまざまなモジュラー、交換可能なコンポーネントが付属しているため、必要に応じてシステムをアップグレードまたはスケールアップすることが簡単です。JENOPTIK Ergospeed IIは、幅広い高度な機能と機能を提供する最先端のウェーハハンドラです。高速で正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されており、ウェーハ処理アプリケーションに最適です。