中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280740 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、半導体生産のための効率的で信頼性の高いウェハハンドラです。直径8〜300mmのウエハを取り扱う生産ライン向けに設計されています。自動化されたハンドリングプロセスにより、半導体生産環境のプロセス工程間でウェーハを正確かつ一貫した転送が可能になります。JENOPTIK Ergospeed IIは、2軸ロボットアームを使用して、元の位置とロボット処理または保管ステーションとの間でウェーハを効率的に輸送します。アームは、最大8 kg （17。6 lbs）または最大30 kg （66 lbs）の複数のウェハに対応できます。ウェーハの動きは制御され、プログラム可能な論理コントローラーと生産ラインの残りと同期されます。腕の動きは損傷からそれを保護する正確にウェーハに合うように調節することができます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、イメージャーカメラを使用してウェーハを必要な正確な角度、回転、位置に配置することにより、自動的なプリアライメントを備えています。この自動化されたシステムは、手動のアライメントを排除し、ヒューマンエラーのリスクを低減します。ウェーハサイズは自動的に認識され、自動アライメントプロセスによって調整されます。ステーション間でウェーハを転送する場合、アームはウェーハ汚染のリスクを低減するため、できるだけステーションに近い状態に保たれます。ウェーハも両サイドにしっかりと固定されており、確実な転送が可能です。各転送の精度は、プロセス全体を記録する内部データロガーで監視され、転送ごとに詳細な監査証跡が提供されます。Ergospeed IIは、生産プロセスにおける高レベルのスループットと精度を確保するとともに、直感的なユーザーインターフェイスを提供するように設計されています。このシステムには、ドライビングソフトウェア、メンテナンスツール、および安全システムなどのさまざまなサポートコンポーネントが含まれており、ハンドラーがピーク時に動作するようにします。JENOPTIKは、BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIウェハンドラを設計し、高効率、高スループット生産ラインをサポートしています。自動化されたハンドリングプロセスと効率的な設計により、汚染や損傷のリスクを最小限に抑え、ウェーハの信頼性と一貫した転送を実現します。これにより、効率的で信頼性の高い半導体製造プロセスが保証されます。