中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280738 を販売中

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
販売された
ID: 9280738
SMIF Loading system SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、半導体ウェーハ処理に使用される自動ウェーハハンドラです。このシステムは、さまざまな半導体ウェーハ処理ツール間のウェーハのロード、アンロード、および輸送を容易にするように設計されています。JENOPTIK Ergospeed IIは、オペレータの介入を最小限に抑えるように設計されており、これまでのウェーハ処理システムで必要とされていた手作業の多くを排除しています。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、コンピューター制御のウェーハステージと連動して動作する独自の位置式アクチュエータを採用しています。この組み合わせにより、外部干渉を排除しながら、ハンドラーはウェーハを正確かつ正確に移動できます。Ergospeed IIは、選別機、こぎり、研削盤、研磨機、スピンコーター、光検出器など、さまざまな種類のウェーハ加工ツールとの接続が可能です。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIはウェーハマガジンとストレージトレイを備えており、ハンドラーはローディング、アンロード、ウェーハトランスポートオペレーションを同時に実行できます。また、レーザーイメージングシステムを使用してウェーハを適切に配置し、ウェーハ表面積とハンドラ内部部品との接触を防止するウェーハアライメント機構を備えています。JENOPTIK Ergospeed IIは、1回の操作で最大200個のウェーハを処理でき、処理時間をさらに短縮できます。また、限られた作業スペースの下での作業も可能で、床面積が限られた研究室でも適しています。さらに、モジュール式の設計により、メンテナンスや修理に伴うコストが削減され、ユーザーはハンドラの特定の部分に素早くアクセスして交換することができます。全体として、BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、精密に設計された自動ウェハハンドラであり、正確な動きと信頼性の高い操作を提供します。このシステムは、処理時間を短縮し、安全性を向上させ、床面積とリソースが限られた研究室に最適です。
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