中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280737 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、ウェーハ処理アプリケーションを自動化するために設計された高速ウェーハハンドラです。業界標準の直径100mm〜300mmのウエハサイズに対応し、幅広い用途に対応しています。JENOPTIK Ergospeed IIは、高度なモータ技術を駆使して、正確で一貫したウェーハ処理を実現し、処理時間を最小限に抑え、歩留まりを向上させます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、ウェハローディングとアンローディングシステムの要件を満たすように特別に設計されています。ロードポートは、片面ウェハローディングをサポートし、両面ウェハローディングまたはアンロードを可能にするように設計されています。また、赤外線や紫外線画像などのインプロセスビジョン検査機能や、物体認識機能も備えています。さらに、オンボードビジョン装置を使用して、自動アライメントおよびアライメント補正を実現できます。Ergospeed IIはウエハオリエンテーションシステムを内蔵しており、ユニット内のウエハを正確に配置できます。2つの垂直カメラシステムを使用して、ウェーハの360度の画像を生成し、ウェーハ認識とさらなるウェーハ処理を可能にします。さらに、ウェーハアライメントツールにより、ウェーハを加工チャンバに正確に取り付けることができます。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIには、高性能ドライブモータが統合されており、正確なモーションコントロールと柔軟性を提供します。このアセットは高速動作用に設計されており、最大200mm/sの高速かつ一貫したウェハハンドリングを提供できます。高解像度ダイナミックドライブモデルは、ジッタと振動を制御しながら滑らかな動きを提供します。JENOPTIK Ergospeed IIは、ウェーハオペレータを機械との偶発的な接触から保護するさまざまな安全機能を備えています。これらの機能には、機器操作中の連結装置、および偶発的な接触を防ぐための安全カバーが含まれます。また、緊急停止システムも含まれています。全体として、BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、ウェーハ処理アプリケーションを自動化するために設計された高度なウェーハハンドラです。その洗練されたモーター技術は、最高速度200mm/sの正確で一貫したウェーハ処理を保証します。統合された安全機能により、ウェーハオペレータの保護がさらに強化されます。広範な機能を備えたこのユニットは、高速ウェーハ処理に最適です。