中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9187136 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、最大200mm （8インチ）のウェーハを処理できる自動ウェーハハンドラです。ウェーハ搬送システムを一体化し、現場でのビジョンモニタリング、洗練されたウェーハ搬送を実現しています。JENOPTIK Ergospeed IIのウェーハトランスポートユニットは、高速で最適なウェーハ保護のために設計されています。X-Yドライブ、チルトドライブ、高精度のピックアンドプレイステーションを備えています。人間工学に基づいた設計は、振動や機械的ストレスを最小限に抑えるように設計されています。さらに、真空リフトユニットは、ウェハを目的地の位置に安全かつ迅速に輸送することができます。in-situビジョンモニタリングマシンは、オペレータに機械の動作とマッチング操作、ならびに処理プロセスにおけるその他の障害または不一致を検出し、警告するために使用されます。このビジョンツールは、ウェーハ表面の不規則性を検出できる2つの高解像度カメラを備えています。これにより、すべてのウェーハが最高の精度で処理されるようになります。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIの洗練されたウェーハ処理オペレーションは、ベアウェーハとパッケージ化されたICの両方を処理するための信頼性の高い環境を作り出します。シングルウェーハ容量「アンカー」キャリア、シングルツールプラットフォーム、マルチキャリア転送システムなど、さまざまなツールオプションをサポートしています。ウェハハンドリングアセットには、カルーセルとトレイ交換システムも含まれています。これらをまとめることで、加工機へのスムーズで信頼性の高いウェハトランスファーを実現します。ウェーハローダーは、300mm （12インチ）ウェーハ処理やロボット統合などの追加のウェーハ生産機能により、簡単にアップグレードおよび改修することができます。JENOPTIK PantherXソフトウェアを使用してプログラムされ、動作します。このWindowsベースのソフトウェアは、機器のすべての機能にアクセスして制御するためのシンプルで直感的で包括的なユーザーインターフェイスを提供します。Ergospeed IIは、大量のウェーハを処理するための理想的なソリューションです。人間工学に基づいた設計、高速、精度により、工業生産環境に最適です。その包括的なツールオプションの範囲は、あらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。