中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9175351 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIウエハハンドラは、ウェハトランスファー、ハンドリング、保護を完全に自動化した多機能ロボット装置です。高精度のメカニクスと制御システムは、信頼性と正確な動作を提供し、究極のレベルの精度でチャンバーから/プロセスへのサンプルを提供します。さらに、カスタマイズ可能なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）により、複雑なオートメーションとプロセスワークフローのスムーズな運用と柔軟性が保証されます。JENOPTIK Ergospeed IIウェーハハンドラには、プロセスチャンバからウェーハをロード/アンロードできる完全自動ウェーハハンドリングメカニズムと、ウェーハの安全な保管が含まれています。このハンドラーには、ユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージを備えたインテリジェントビジョンユニット（IVS）が装備されています。このソフトウェアは自動的にウェーハを整列させ、ウェーハ表面の整合性を検証します。さらに、このソフトウェアを使用すると、各ウェハのパフォーマンスを監査し、より大きなマシン内での使用に適しているかどうかを確認することができます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、ワークフローの効率を最大化するために、さまざまな先進技術を活用しています。独自のウェットクリーニング技術により、ウェーハがプロセスチャンバーにロードされる前に常に清潔に保たれます。その高度なエアベアリング技術は、信頼性の高い操作と精度を保証し、強力なエンジンは、ウェーハのハンドリングツールの正確かつ滑らかな動きを保証します。Ergospeed IIには、衝突防止、電子インターロック、振動保護など、数多くの安全機能も装備されています。これらの機能は、ウェーハの安全な転送を確保し、人員への怪我を防ぎ、処理されたウェーハをさらに損傷させるように設計されています。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、あらゆる生産ラインに不可欠なコンポーネントであり、信頼性が高く効率的なウエハハンドリングと保護を提供します。その先進的な技術と安全機能は、すべての動作の精度を保証し、各ウエハの高品質をもたらします。