中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9134144 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II Wafer Handlerは、集積回路やその他の電子部品の製造に使用される半導体ウェハの湿式および乾式処理用に設計された高性能ロボットです。JENOPTIK Ergospeed IIは、高度なロボティクス技術を活用して、ウェハカセットの効率的かつ正確な取り扱いと操作を提供するために、ほとんどの湿式または乾式プロセスシステムとインターフェースするように設計されています。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIには2アームロボットシステムが装備されており、各アームには別の真空ブールホルダーアームが組み込まれています。ブールホルダーアームには、ウェーハハンドラがさまざまな位置と方向に到達することを可能にする調節可能な高さのプラットフォームが装備されています。統合されたグリッパー技術により、ロボットは輸送中にウェハカセットを確実に固定し、積み下ろし時の「スリップバック」を防ぐことができます。Ergospeed IIのその他の機能には、最大100gの圧力を処理できるウェーハローダー、精密ピエゾ駆動グリッパーシステム、およびロボットの腕を正確に配置するためのクローズドループステッピングモーターがあります。高速および低慣性モータ駆動は、卓越した迅速な応答を提供し、繊細で繊細な半導体および製造部品の正確かつ効率的なピッキングと配置を可能にします。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIウェハンドラは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して設計されており、ユーザーはロボットを設定し、迅速かつ安全に目的の位置に移動することができます。ロボットは、複数のデバイスとプロセスシステムの統合のために遠隔操作することもできます。また、Windows、 Linux、およびDOSオペレーティングシステムをサポートし、半導体ファブ、クリーンルーム、および産業環境の安全基準に準拠しています。JENOPTIK Ergospeed IIウェーハハンドラは、半導体のトルボンディング、シリコンの劣化研削、リソグラフィーのアライメント、製造、その他のデバイス処理など、さまざまな半導体ウェーハ処理アプリケーションに適しています。ウェーハ加工の信頼性、効率性、安全性、精度を備えています。