中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9134142 を販売中

ID: 9134142
ヴィンテージ: 2000
Systems LPTSM/R (right) Includes: SLR 200 LPTSM/L and R 2000 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIウェーハハンドラは、特に効率的なフロントエンド自動ウェーハ処理装置です。このハイエンドツールは、個々のワークフローにウェーハを転送するように設計されており、効率的な半導体製造を実現する上で重要な役割を果たしています。JENOPTIK Ergospeed IIは、現在の高速半導体プロセスに理想的なソリューションにするために、いくつかの機能と機能を統合しています。このシステムは柔軟で堅牢なアーキテクチャを提供し、幅広いアプリケーションに対応します。まず、最大15個のウエハを同時に処理できるプライマリシャトルアセンブリを装備し、スループットを向上させます。同時に、ウェーハをポケットから別のポケットに自動的に移すことができる二次シャトル機も設置されています。このツールのもう1つの重要な特徴は、インテリジェントなモーションコントロールです。これにより、すべてのウェーハが使用領域に正確に配置され、最適な処理が可能になります。これは、複数のウエハパスを必要とするプロセスに特に役立ちます。モーションコントロールアセットは、ユニークなビジョントラッキングシステムによってサポートされており、作業面での正確なウェーハ配置を保証します。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、安全な作業環境を確保するための高度な安全機能も統合しています。これには、デュアルウォールの安全モデルと、他のいくつかの補助安全装置が含まれています。これは、ウェーハと貴重なプロセス機器の両方に損傷を与える可能性のある危険性がないことを保証するのに役立ちます。Ergospeed IIは、信頼性の高い効率的なウェーハ処理装置を探しているあらゆる半導体工場の魅力的なソリューションです。高いスループット率、堅牢な構造、長期的な品質保証を提供します。さらに、このシステムは他の工程や工具と容易に統合されているため、現在の半導体生産ラインにおいて重要なコンポーネントとなる可能性があります。
まだレビューはありません