中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9093060 を販売中
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ID: 9093060
ヴィンテージ: 1998
SMIF Systems
(1) SLR 200 LPTSL/L
(1) SLR 200 LPTSL/R
115 VAC
60 Hz
250 W
Missing parts: (1) Gripper box
1998 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、片側および両側の基板アプリケーション用に設計された高性能ウエハハンドラです。効率と安全性を向上させるために設計されたさまざまな機能を提供し、可能な限り最高のスループット率を実現します。電動基板変換装置は、精密制御モータを使用しており、手動システムに比べて高速でダイナミックな移動を可能にします。また、デッドタイムを削減し、サイクルタイムを最小限に抑えるための最適化された戦略も組み込まれています。JENOPTIK Ergospeed IIは、全機械設計によるダウンタイムのない高いスループット速度を提供します。ブラシレスモーターと組み合わせた先進的なサーボドライブは、最も効率的で正確な動きを可能にし、8ゾーンの外部位置センシングは内部電子システムで強化され、滑らかで正確なモーションコントロールを保証します。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIには、最高レベルの精度と信頼性を提供するダブルグリップ電極を備えた高度なデュアルロードポートユニットが装備されています。デュアルヘッドロボットには2つのスピンドルヘッドが装備されており、独自に制御することで正確な基板ピッキングと配置が可能です。Ergospeed IIに統合されたロボット安全機械があり、制御ツール環境からすべての安全コンポーネント、インターロック、インターロック行列へのアクセスを提供します。また、すべてのウェーハの負荷位置を自動的に校正する自動校正アセットと、アライメントと不正確さの検出を支援するビジョンモデルも含まれています。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIはユーザーフレンドリーで直感的に操作できるように設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとグラフィカルな表現により、基板の取り扱いを監視および制御し、機器全体のウェーハの状態を追跡することができます。また、基板ローディング、処理エリア転送へのレセプタクル、ハッチとストールの開口部などの操作のための排他的なワークフローを備えています。全体として、JENOPTIK Ergospeed IIは、高精度、高スループットウェーハ処理に最適です。高度なロボットシステム、安全システム、キャリブレーションシステム、直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースを組み合わせることで、あらゆるラボや生産施設に最適です。その精度と信頼性により、すべてのウェハハンドリングのニーズに対して費用対効果の高いソリューションとなります。
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