中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #293806330 を販売中

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、最大直径11インチ（280mm）のオーバーハングを備え、最大200mmまでのデバイス、テスト、および生産ウエハ径の高スループット処理用に設計された、汎用性の高い自律型シングルウェーハハンドラです。Ergospeedの再配置精度により、ウェーハを同じマークに配置し、± 500ミクロン以内の精度で認定し、± 50ミクロン以下の精度と150ミクロンまでの再現性を実現します。これにより、さまざまな用途にカスタマイズ可能なウェーハのオンとオフのダイの簡単かつ反復可能な配置が可能になります。さらに、JENOPTIK Ergospeed IIの柔軟性により、さまざまなツールやプロセスと統合でき、最大3つのツールを同時に処理できます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed IIは、次の機能を提供する信頼性の高いウェハハンドラです。 300mmウェーハで時速36ウェーハ、200mmウェーハで時速100ウェーハ最大11インチまで対応可能" （280mm）直径特許取得された加熱チャック技術、70°Cまでの内部温度調整可能± 2°Cの温度精度最大12ニュートンの力で並列クランプできる高速静電チャック手動表面クリーニングシステムのオプションカスタムソリューションの専門エンドエフェクタオプション製品の広い範囲、 フラットウェーハ、スルーホールウェーハ、各種材料のウェーハ基板を含むErgospeed IIには、プロセスの自動監視と最適化機能も備えています。このウェハハンドラの最大位置精度と再現性は、自動プロセス監視および最適化機能と組み合わせることで、さまざまなチップ製造、テスト、およびパッケージアセンブリアプリケーションに適しています。さらに、再キャリブレーションや特殊なツールを必要としないメンテナンス要件が低いため、このウェーハハンドラのユーザーは最適な再現性のある結果、処理時間の短縮、歩留まり率の向上を保証します。全体として、BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed IIは、信頼性の高い汎用性の高いウェハハンドラであり、さまざまなアプリケーションにうまく統合できます。高速で精度、温度の調整、信頼性の高い表面洗浄システム、および校正なしの性能により、ユーザーはプロセス速度と歩留まり率を大幅に向上させることができる優れたソリューションを提供します。