中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed 3800 #9071286 を販売中
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed 3800は、半導体産業の研究開発ラボ向けに設計されたウェハハンドラです。JENOPTIK Ergospeed 3800は、信頼性の高い効率的な操作を提供する完全自動ウェーハ処理装置です。これにより、プロセスの1つの部分から次の部分にウェーハを転送する際の時間を節約できます。BROOKS AUTOMATION Ergospeed 3800には、効率的な操作を容易にするさまざまな機能が付属しています。40x13インチの広いワークエリアを持ち、最高速度は30mm/secで、正確なウエハハンドリングが可能です。また、温度に敏感なウェーハの温度制御や、ウェーハの純度を確保し、汚染を防ぐための帯電防止フィールドも提供します。Ergospeed 3800には、トラブルシューティングとエラー低減に役立つプロセスを監視および記録する分析システムも装備されています。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed 3800は、ウェーハの正確かつ安全な取り扱いを保証する安全機能を備えて設計されています。機械を監視し、衝突を防止する統合安全ユニットを装備しています。また、インタラクティブなタッチスクリーンは、JENOPTIK Ergospeed 3800との相互作用を容易にし、ヒューマンエラーの可能性を排除します。BROOKS AUTOMATION Ergospeed 3800には、ウェーハハンドリングアセットを完全に制御するプロセストラッキングツールが内蔵されています。このモデルを使用すると、ユーザーはウェーハの動きと処理タスクをプログラムすることができます。これにより、処理プロセスが正確かつ効率的であることが保証されます。最後に、Ergospeed 3800にはクリーンルーム互換設計も装備されており、プロセス標準の均一化とデータ精度の向上を実現しています。単位はリストされているULであり、12か月の保証と来ます。BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed 3800は、半導体業界の研究開発ラボに推奨される信頼性の高い堅牢なウェーハハンドラです。
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