中古 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK 200 L / 200 R #9241552 を販売中
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 200 L/200 Rは、半導体ウェーハ製造用に設計された高性能ウェーハハンドラです。4インチまでのウェーハの高精度自動処理に使用できる2レベルのロボットアームシステムです。2つのレベルのロボットアームは、幅広い基板に対して同時にピックアンドプレイスとウェーハフリッピング操作を提供します。200Lシリーズは精密なZ軸を採用しており、3次元空間におけるウェーハの再現性の高い操作が可能です。ウェーハフリッピングとインデックス作成のための最大3つのピックアンドプレイスソリューションを提供します。この200Rは200Lモデルよりもわずかに長い範囲を持ち、横方向と縦方向の両方の動きを必要とするアプリケーションに最適です。JENOPTIK 200 L/200 Rは、他のウェーハハンドラよりも高い移動範囲を提供し、XY方向にピボット、ねじれ、移動することができます。ロボットアームは、正確なターゲット位置決めと方向移動精度のために設計されており、チップ間のアライメントを可能にして、非常に正確な回路ルーティングとアセンブリを実現します。また、30軸構成で幅広いハンドリング特性を提供します。BROOKS AUTOMATION 200 L/200 Rは耐久性と信頼性があり、操作の制御と監視のために特別に設計された高度な独自ソフトウェアを備えています。安全機能を搭載し、高速でのウェーハ処理が可能です。この高速ウェーハ処理は、高速自動ウェーハ処理システムに最適です。200 L/200 Rは、高度なオンラインモニタリングシステムと、電極メンテナンスシステムや余分なウェハートレイなど、さまざまなオプションのアクセサリーを備えています。コンタミネーションやミスアライメントの可能性を最小限に抑えながら、信頼性の高い精密ウェハハンドリングを提供します。信頼性が高く効率的で幅広い基板に対応可能な高性能ウエハロボットをお探しなら、ブルックスオートメーション/ジェノプティック200 L/200 Rがおすすめです。複雑なウエハハンドリング作業に最適であり、高速処理機能により、高速ウエハーの製造と組み立てに最適なソリューションです。
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