中古 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018586 を販売中

BROOKS AUTOMATION Guardianは、多種多様な半導体製造アプリケーションで使用するために設計された半自動ウェハハンドラです。ガーディアンは、小型のダイスライスから大型のスライスまで、ウェーハのサイズや形状を問わず取り扱うことができ、最大限の効率と精度で動作するように設計されています。BROOKS AUTOMATION Guardianは、実績のある機械式トレイローダーと自動フィーダーロボットを使用して、ウェーハの正確な配置と安全な取り扱いをツールの内外に確実に提供する、ハイエイドウェーハインターセプトシステムを備えています。また、ウェーハスライスやプロセスツール間のウェーハ移動、ウェーハカセットやフレームの出力、ウェーハディスクやボートキャリアからのウェーハスライスの入出力、複数のスライスを同時に含むコンテナの入出力など、幅広いウェーハハンドリング機能を提供しています。ガーディアンは、ウェハハンドリング機能に加えて、大量のウェハスライシング用途にも信頼性と再現性を提供します。高度なモーションコントロールアルゴリズムにより、ウェーハの安全で正確な位置決めとスライス、ウェーハコンテナの信頼性の高い自動ロードとアンロードが可能です。BROOKS AUTOMATION Guardianには、レシピエディタ、プロセスモニター、検査機能、外部レシピのサポートなど、さまざまなカスタマイズ可能なソフトウェアオプションが含まれています。また、使いやすいオペレータ制御インターフェースを備えており、ウェーハ処理プロセスの合理化に役立ちます。全体として、Guardianは、さまざまな半導体製造アプリケーションで使用するために設計された信頼性の高い効率的なウェハハンドラです。堅牢な機能と自動化された機能により、大量の製造作業に最適なソリューションです。