中古 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018585 を販売中

BROOKS AUTOMATION Guardian（ブルックスオートメーションガーディアン）は、敏感な半導体設備で使用するための高度なウェハハンドラです。300または460mmのインサート径を持つ最大6つの標準25mmまたは50mmウェーハの取り扱いおよび保管用に設計されています。ガーディアンは、スループットを向上させながら、敏感なウェーハを最大限に保護するように設計されています。BROOKS AUTOMATION Guardianには、ウェーハの完全性を保護するさまざまな機能が含まれています。ウェーハは、塵の汚染を防ぐために環境に密閉されており、さまざまなセンサーがウェーハの位置や温度の変化を検出し、危険性があるとオペレータに警告します。外部環境からの絶縁レベルが向上し、静電気を低減します。外部電源により、部品を損傷する可能性のあるサージをさらに防止します。装置の柔軟性はハンドラーの自動および手動操作を可能にします。ウェーハの交換と配送を簡素化する半自動レシピベースのプラットフォームを備えています。ガーディアンは、さまざまなウエハサイズとプロセス温度に対応し、さまざまなプロセスを実行することができます。パフォーマンス面では、BROOKS AUTOMATION Guardianは高速で正確なモーションコントロールシステムを搭載しており、最大24軸/秒のモーションスピードを提供し、ウェーハのトランジット時間を短縮し、スループットを向上させます。制御ユニットは、高度なビジョンカメラとスキャンシステムと接続されており、ウェーハトポグラフィの測定を可能にし、個々のウェーハの正しい処理を検証するのに役立ちます。全体として、Guardianは敏感なウェーハを扱い、いろいろな企業に役立てることができる新しいウェーハハンドラーを捜す顧客のための理想的な選択です。このウェーハハンドラは、信頼性の高い保護とウェーハの配信と交換のための強化された速度、および異なるウェーハサイズとプロセス温度で動作する柔軟性を提供します。高度なモーションコントロールマシンとカメラおよびスキャンシステムは、ウェーハの安全な処理と処理の検証を提供します。