中古 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018584 を販売中

BROOKS AUTOMATION Guardian™ウェーハハンドラは、半導体、MEMS、フォトニクスウェーハの自動ロボットハンドリングのための信頼性の高い業界トップクラスのソリューションです。超クリーンなアーキテクチャと機能を備え、汚染のない製造環境で、壊れやすい材料の最高クラスの取り扱いを提供します。ウェーハハンドラーは、安定した動作技術を備えたブルックスの精密ロボットを使用して、ウェーハの層流と超低粒子数を確保しています。ウェーハレベルのアライメント装置を使用した特許取得済みの機械的処理により、ウェーハのストレージカセットから安全で堅牢な接着と分離を損傷することなく提供します。このシステムには、さまざまなツールとモーションコントロールオプションがあり、ほぼすべてのニーズに合わせてカスタマイズされたオートメーションソリューションを提供します。ガーディアンのクリーンルーム対応の構造は、製造中および転送中の汚染物質を排除します。半透明ロボティクスは可視性をサポートし、最高レベルのプラントの安全性、生産性、品質を確保しながら、より良いプロセス制御を可能にします。また、コンパクトな設計で正確なモーションコントロールとスペースの効率的な使用を提供します。高度なビジョンマシンは、ウェーハの動きに鋭く統合されているため、汚れてきれいなウェーハを識別し、カセットスタックを分析し、誤荷重を検出することができます。統合されたウェーハ指向ツールは、下流工程のウェーハを正確に整列させ、プロセスエラーやスクラップを最小限に抑えます。さらに、BROOKS AUTOMATION Guardianウェハハンドラはセットアップ、設定、メンテナンスが簡単です。過酷な環境での最適な稼働時間を実現するESD-safeとして設計されており、リモート診断および診断通知を提供します。このマシンは拡張性が高く、既存のオートメーションシステムと互換性があります。高い分解能とオートメーションの柔軟性により、ウェーハハンドラはより高い生産性を実現し、より高速なスループットを実現します。ガーディアンのウェハハンドラは、大量の半導体およびフォトニクス製造組織のニーズに応える効率的で信頼性の高いソリューションです。高度な機能、高いスケーラビリティ、リモート診断を提供し、クリーンルームのアーキテクチャやモーションコントロールとシームレスに高度なロボット工学を統合します。