中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9354502 を販売中

ID: 9354502
ヴィンテージ: 2002
Load port 2002 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、半導体メーカーが集積回路生産のコストと複雑さを削減するために設計された高度なウェハハンドラです。FOUP、 UDC300、 TMAF、 SEMI、 CFMなどの幅広い輸送手段でウェーハを搬送前に固定する「Fix-First」製造の理念に準拠しています。自動化されたハンドリングシステムは、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスで驚くほど簡単にインストールおよび起動できます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、最大16個のカセットの手動ロード、アンロード、転送、およびクリーニングを可能にします。このユニットは、ウェハローディング、転送、およびクリーニングのロードとアンロードの完全な自動化のために設計されています。このマシンは、すべての並列/シングルウェーハ処理およびクリーニングアプリケーションをサポートし、さまざまな温度制御システムやさまざまな真空システムに適しています。チャンバー内の移動を容易にするためのロボットアームが付属しており、振動分離技術により真空チャンバー内のクリーンで安定した環境を実現しています。Fixload V6は、3D画像認識を使用して、ローディングとアンロードのプロセス中にウェーハを正確に整列させる独自のウエハトラッキングツールも提供します。これにより、ウェーハの正確な位置と配置が保証され、全体的な生産歩留まりが向上します。BROOKS AUTOMATION Fixload V6には、Webベースの監視および制御資産、ウェハーマッピング、校正、健康モニタリングツール、および一連のプロセス監視ツールなど、シームレスな統合のための一連のツールが付属しています。このモデルはまた、プロセス診断のための一連のアルゴリズムを使用して、製造業者にプロセス内の潜在的な問題のより良いアイデアを提供します。全体として、Fixload V6は半導体製造業界の企業にとって理想的なツールです。ハイエンドのウェーハトランスポート機能と、最適な処理と生産歩留まりのための高度なツールと機能を備えています。生産を合理化し、全体的なコストを削減するために探しているあらゆるメーカーやプロセッサに最適なソリューションです。
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