中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9056693 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、BROOKS AUTOMATIONが開発した次世代の高性能ウェハハンドラです。このハンドラは、粒子発生を低減し、高度なウェーハ処理のスループットを最大化するように設計されています。Fixload V6は、処理チャンバやその他のコンポーネントにウェーハを輸送およびロードするために使用されます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、シャトル機器、アーム、セーフティシステム、駆動機構の4つの主要コンポーネントで構成されています。シャトルユニットは、適切な方向にウェーハを配置し、適切なツーリングに挿入してロードするために使用されます。アームはウェーハをしっかり握り、正確なパターンで動かすために使用されます。安全機械はすべてのウェーハの処理が安全に行われることを保障するように設計されています。最後に、駆動機構は、アームとシャトルの動きに電力を供給するために使用されます。Fixload V6は手動でも自動でもウェーハの積み下ろしが可能です。手動モードでは、ユーザーは正確なウェーハ処理のためにアームの動きを制御することができます。自動モードでは、ウェーハの読み込み回数、ウェーハの動きの速度、ウェーハのサイズなど、特定のパラメータを設定できます。これにより、複数のウェーハを複数のチャンバや他のコンポーネントに素早く正確にロードすることができます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6も非常に信頼性が高く、堅牢であるように設計されています。これは、コンポーネントの摩耗を低減し、長寿命を可能にするユニークな遠心力タイプのドライブを使用しています。さらに、Fixload V6は310°Cまでの低温で動作し、全粒子の生成を最小限に抑えることができます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6はウェーハ加工に最適で、信頼性、堅牢性、および低粒子生成を提供します。最大スループットと精度の高いムーブメントを実現するために設計されており、ユーザーはウェーハを迅速かつ正確に処理できます。また、低温動作により寿命を延ばし、粒子発生を低減します。