中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293694869 を販売中

ID: 293694869
Load ports Qty / Part number: (2) / 013089-500-20 (1) / 013089-999-20.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、高度な半導体製造の自動化およびプロセス制御ニーズに対応するように設計されたウェハハンドラです。Fixload V6は、最大300mmのウェーハと幅広い材料、温度、サイズに対応できる、柔軟性に優れた構成可能な機器です。BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、タイトなプロセス制御と完全な温度制御機能を提供する真空ベースのウェーハハンドリングシステムです。このユニットには温度表示とコントローラが装備されており、ユーザーは必要な特定の処理温度のためにウェーハ温度を操作することができます。また、20秒間のドライウェーハローディングサイクルを提供し、最大6つのウェーハを同時にロードできます。Fixload V6はまた、Brooks SCXI Station、 Fieldbus、 Automation Interfaceなどの他の高度な機器との高い統合を提供します。この高い統合により、ユーザーはBuilder StationとProcess Controlモジュールを使用して、カスタム設計されたプロセスと制御環境を作成できます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、操作を強化するさまざまな機能も提供しています。これには、ウェーハが間違った方向に置かれたときに鳴るアラームが含まれます。このユニットは、完全に丸くない、または粒子を含むウエハを拒否する機能も備えています。全体的に、Fixload V6は、汎用性の高いユーザーフレンドリーなウェーハハンドリングマシンをお探しの方に最適です。このツールは高い柔軟性を提供し、ユーザーはカスタムデザインのプロセスと制御環境を作成するだけでなく、タイトなプロセス制御と完全な温度制御を提供することができます。さらに、BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、さまざまな先進的な機器と非常に互換性があり、利便性が高まります。したがって、半導体製造の効率と性能を高める必要がある企業に適しています。
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