中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634043 を販売中

ID: 293634043
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Load port, 12" 2003 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、さまざまなアプリケーション向けに精密なウェハハンドリングを提供するウェハハンドラです。取り扱い時の傷やウェーハの損傷を軽減し、機器の稼働時間を改善し、人件費を削減するように設計されています。ウェーハに部品を取り付ける、ダイシング、ピックアンドプレイス、インプリントなどの用途に適しています。使いやすい制御インターフェースを備え、さまざまなロボットシステムで使用できます。このウェハハンドラは、ラウンド、スクエア、長方形、ピエゾウエハなど、幅広いウェハサイズと形状を転送することができます。Fixload V6には、いくつかのウエハハンドリング機構を備えた基板キャリアが含まれています。真空タイプのウェーハハンドリングにより、ウェーハを傷つけたり傷つけたりすることなく、高精度を実現しています。また、サーボ制御によるスキャン動作を最適化し、精度を損なうことなく高速動作を可能にします。このシステムは自動キャリブレーションルーチンを備えており、特定のバッチのウェーハの厚さ変動を正確に測定できます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6には、ウェハハンドリングのための安全で信頼性の高いオプションになるさまざまな安全機能が装備されています。これは、ユーザーがユニットの制御を維持することができ、その動作状態の視覚的なインジケータとタッチスクリーンコントロールパネルを持っています。さらに、ほこり、腐食、振動から保護されているため、さまざまな環境での使用に適しています。Fixload V6は低消費電力で動作するように設計されており、多くのアプリケーションにとって費用対効果の高い選択肢となっています。また、さまざまなセンサーやその他の診断モジュールを備えているため、ツールの問題を簡単に診断できます。これにより、信頼性の高い自動化およびウェーハハンドリングソリューションに最適です。
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