中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、バッチ半導体製造プロセスにおけるウェハローディングとアンロードを自動化するために設計されたウェハハンドラです。これにより、1つのプロセスでウェーハの効率的かつ半自動的なロードとアンロードが可能になります。これにより、大量のウェーハを1回の実行で処理でき、プロセス時間を短縮できます。Fixload V6は、6インチおよび8インチのラウンドウェーハを含むさまざまなウェーハサイズに対応できるフレキシブルポッド装置を使用しています。柔軟なポッドシステムは、ウェーハハンドリングシステムなどの他のシステムと互換性があるように設計されており、簡単に設定でき、特定のウェーハサイズに対応できます。このユニットは、統合されたVacuum Wafer Transfer Machineを使用して、処理プラットフォームと位置決めおよび向きシステムにウェーハを転送し、処理用のウェーハを正確に整列させます。さらに、このツールは自動的にミスアライメントを検出してプロセスを中止するように設定することができ、ウェーハや加工装置の損傷を防ぎます。BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、フル機能のグラフィックインターフェイスを備えた高効率プロセスコントローラを備えており、すべてのウエハプロセスをスムーズかつ安全に動作させることができます。コントローラは、ウェーハ冷却、ベーキング、酸化などの複数のウェーハ処理タスクを制御するだけでなく、プロセス変数を監視するために使用することができます。アセットは、処理中に行われた測定結果に基づいてプロセスパラメータを自動的に調整するように構成することもできます。これは、処理条件を最適化し、最適でない条件によるウェーハへの損傷を防ぐことを目的としています。Fixload V6は、モデルとウェーハを汚染やその他の環境要因から保護するための安全な設計を備えています。安全なアクセス機器と、偶発的なユニットの故障を防ぐための組み込みインターロックシステムを備えています。さらに、BROOKS AUTOMATION Fixload V6には、すべてのプロセスイベントを監視および記録し、エラーを検出するトレーサビリティシステムが含まれています。これは、問題が発生した場合にマシンのデバッグとトラブルシューティングを容易にすることを目的としています。Fixload V6は、ユーザーフレンドリーで信頼性の高いウェハハンドラツールです。半導体製造プロセスにおけるウェーハ加工の効率と生産性を向上させるために設計されています。