中古 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634031 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload V6は、真空/ロードロックシステムの一部として設計されたウェハハンドラです。真空システムからウェーハを積み降ろす安全で安全で効率的な方法を提供するために設計されたユニバーサルウェーハハンドリングシステムです。完全自動化されたウエハハンドラは、人間工学に基づいて設計されたボディを、耐久性、ロープロファイル、およびコンパクトなベースに搭載しています。ソフトウェア制御のV6は、今日の急速な半導体生産ラインのニーズを満たすように設計されています。内蔵のオートフォーカス機能により、オペレータは最適な焦点距離を迅速かつ正確に調整できます。特許取得済みのNo-Touchウェーハグリッパーは、安全で接触のないウェーハ遷移を保証します。高度なトップダウンウェーハハンドリング機構により、さまざまなサイズのウェーハを目的のロードロックホルダーに素早く正確に転送できます。また、V6は直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは必要に応じて簡単にウェーハの処理を監視し、設定を調整することができます。ベースとロボットボディに安全インターロックを採用して偶発的な機械的干渉を防ぎ、統合された安全ケージは潜在的な危険から人員を保護します。さらに、V6は、±25µmの最大反復可能な2シグマ位置精度で、優れた再現性を提供するように設計されています。V6は、システムの信頼性を高めるための耐久性のあるステンレス鋼構造で作られており、熱管理を改善するために囲まれたベースを備えています。ベースには、正確なウェーハ高さ調整のための偏向調整が装備されています。また、複数のウェーハ負荷を管理するように設計されており、簡単なセットアップとメンテナンスを容易にするために取り外し可能なウェーハプラットフォームを備えています。結論として、Fixload V6は、真空システムからウェーハをロードおよびアンロードするための安全で安全で効率的な手段を提供するために設計された最高級のウェーハハンドラです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、迅速で簡単な監視と調整が可能です。特許取得済みのノータッチウェーハグリッパーとたわみ調整により、最適化されたウエハハンドリングと精度をさらに確保します。