中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9392798 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M
ID: 9392798
ウェーハサイズ: 12"
Load port, 12".
BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、半導体、フラットパネル、LED基板の生産輸送を支援するために設計された高度なウェハハンドラです。不規則な形状の基板を様々なサイズ・構成で簡単に積み下ろしできます。その高度な技術は、高精度、再現性、信頼性の高い基板処理を提供し、生産スループットを最大化します。Fixload 6Mには、基板と負荷ポートの間で正確な3次元アライメントを行うことができる単軸プリアライナーが装備されており、基板の正確なアライメントとその指定位置を提供します。独立した駆動アームを装備し、同時に最大6基板の積み降ろしが可能です。これにより、基板処理の遅延時間が短縮され、生産スループットとコストの削減につながります。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、最先端のアクティブローディングアルゴリズムを使用して、手動介入の必要性を低減します。このアルゴリズムは、スプリング圧力、回転傾き、基板とロードポート間の距離を動的に監視します。これにより、オペレータが異なる基板サイズのロードポートを調整する必要がなくなります。安全で正確なローディングを確保するために、Fixload 6Mのアクティブローディングアルゴリズムは基板のポストローディング動作を自動的に調整します。さらに、ユニットには特許取得済みの真空ポートが装備されており、基板を固定して適切に固定することができます。操作が簡単な直感的なタッチスクリーンディスプレイを備えており、ユーザーはプロセスをカスタマイズし、各基板のパラメータを指定できます。さらに、ユーザーインターフェイスは、英語、中国語、日本語、韓国語、スペイン語などのいくつかの言語で設計されています。また、明るさ、彩度、その他の設定を調整することができます6色の設定と高度なLED照明システムが含まれています。さらに、BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、生産処理中に機械的故障が発生したかどうかを検出できる自己診断機能を備えています。このユニットは、タッチスクリーンのディスプレイに表示されるステータスインジケータライトを介してシステムエラーをオペレータに通知することもできます。Fixload 6Mは、半導体ウェーハの成形、テスト、ダイシングなど、さまざまな産業用途向けに設計されています。基板に対して信頼性が高く、正確で費用対効果の高いソリューションを迅速かつ効率的に提供します。これは、床とセルの両方の生産に適したオフラインとオンラインの両方の構成で利用可能です。また、さまざまなフォーマットやサイズを堅牢にサポートしているため、複数の基板タイプで使用できます。
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