中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9353403 を販売中

ID: 9353403
ヴィンテージ: 2004
Load port 2004 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、今日の困難なウェーハ処理環境の要求に応えるように設計された最先端のウェーハハンドラです。SkyScan™のリアルタイムビジョンテクノロジー、統合されたM#ドライバ、および完全に認定されたSpecMatソフトウェアを備えています。堅牢な設計と信頼性の高いパフォーマンスにより、重要なミッションクリティカルなプロジェクトに最適なウエハハンドリングソリューションです。6Mは、メカニカルサポートを内蔵したほぼすべてのサイズの半導体ウェーハを取り扱うために作られたベース構成可能なウェーハサイズと、簡単なアクセスと完全なチップ保護のための透明なカバーリフターを備えています。ウェーハの位置精度を向上させ、蓄積や損傷のリスクを低減するように設計されています。6Mには、スループットを向上させ、スクラップレートを低減するように設計されたデクスターシールモーションプランニングを備えた6軸ロボットが装備されています。6Mの統合されたM#ドライバは、ロボットと静止システム間のリアルタイム制御と通信を提供し、フォールトトレランスの向上とスループットの向上を可能にします。SkyScan™のリアルタイムビジョンテクノロジーは、ウェーハの3D画像を提供し、ウェーハがより高い動作精度で正しく転送され、蓄積されたエラーを低減するのに役立ちます。完全に認定されたSpecMatソフトウェアは、既存のシステムやプロセス制御システムと簡単に統合できる直感的なインターフェイスを提供します。6Mは、柔軟なオンサイトメンテナンス、フォルトモニタリング、診断機能も備えています。これらの機能はすべて、プロセスの効率を最適化し、ダウンタイムを削減するために設計された洗練されたウェーハハンドリングソリューションを形成するために組み合わされます。BROOKS AUTOMATIONの6Mは、幅広いアプリケーションに簡単に統合できる信頼性が高く、効率的で包括的なウェーハハンドリングソリューションです。その高性能な機能とフォールトトレラント設計により、ミッションクリティカルなプロジェクトに最適です。堅牢な設計と安全なプラットフォームにより、6Mはお客様の半導体処理システムが今後も競争力と生産性を維持することを保証します。
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