中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9221145 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mウェーハハンドラーは、ウェーハ処理の一貫性、精度、速度、効率を向上させるために設計された、自動化された多段ウェーハハンドラです。最大積載量8。4kgの6軸ロボットアームを搭載したFixload 6Mは、50mmから450mmまでの幅広いウエハサイズに対応可能で、高精度かつ高精度なウエハーの搬送にも十分な性能を備えています。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mのロボットアームは、可変周波数とトルクサーボモータによって駆動され、高精度、正確かつ反復可能な動作を提供します。このモータはまた、さまざまなウェーハ処理タスクのためのロボットアームのプログラミングに大きな柔軟性を提供します。オープンアーキテクチャにより、Fixload 6Mは他のシステムと統合することができ、多くの自動アプリケーションに使用できます。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは設定が簡単で、ローディング、アンロード、ソート、移動、および高い精度と速度でウェーハの積み重ねなどのさまざまな機能を実行するようにプログラムすることができます。さらに、メカニカルチャック、キャップ、真空カップなど、最大10種類のアクセサリ機器をサポートし、さまざまなウエハハンドリング作業に使用できます。Fixload 6Mは、エアボーン（AirGun）やアドバンテストテスターの手動真空チャックシステム（VMCS）など、さまざまな真空システムとの互換性のために設計されています。これらの真空システムは、安全で安全なウェーハハンドリングに不可欠であり、ロボットアームはウェーハを損傷することなく安全に取り込み、処理することができます。さらに、BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、IEC/ENの最新の安全規制に準拠し、ユーザーの安全を考慮して設計されています。また、安全で安全な操作を確保するために、機械的および電気的インターロックを含む複数の安全機能が装備されています。制御と操作の面では、Fixload 6Mには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と直感的なロボットプログラミング言語が付属しています。これにより、ユーザーは簡単にロボットアームを構成および制御することができ、より高度なウェーハ処理タスクのための洗練されたプログラミングを可能にします。最終的に、BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mウェーハハンドラーは、効率的で正確なウェーハハンドリング作業に最適なソリューションです。その柔軟性、信頼性、安全性の特徴は、ウェハハンドリングが成功するために不可欠である多くの産業用および商業用の設定に最適です。