中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293800213 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、プロセスツール間で信頼性の高い効率的なウェーハ転送を提供するように設計された高度なロボットベースのシングルウェーハハンドラです。エッチング、リソグラフィー、成膜など、さまざまなウエハ処理プロセスの間で、すべてのウエハータイプを処理および転送するための理想的なソリューションです。Fixload 6Mは完全に自動化され、複数のプロセスツールと連携して動作します。それは直径の2インチから12インチまで広い範囲の基質のサイズを扱うことができます。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、エンドエフェクターを備えたデュアルアームロボットメカニズムを使用して、真空封止されたウェーハピックアップ環境でウェーハを転送します。また、熱および振動の安定性に優れた陽極酸化アルミニウムフレームを備えており、衝撃および振動の影響を低減し、精度と再現性を確保します。ロボットのメインモータ駆動はサーボコントローラで駆動され、ロボットはロボットアームの動きと回転を正確に制御することができます。Fixload 6Mには、解像度制御のビジョン装置が装備されており、オブジェクトを正確に見つけてターゲットにすることができます。このビジョンシステムは、誤荷重の統計を最小限に抑え、誤荷重を迅速に再ターゲット化するために最適化されています。また、ウェハソートにより汚染を低減することができます。また、ウェーハ表面のピンホール、表面欠陥、粒子汚染を検出するオートディスクリートポイントスキャンおよびラインスキャン技術も搭載しています。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、品質管理を犠牲にすることなく、優れたスループット速度と精度を提供します。自動クリーニング機能とオンボード電源管理により、高品質のクリーンウェーハを確実に転送できます。包括的なデータトラッキングとレポートマシンは、主要な測定値を記録してトレーサビリティを確保し、プロセスのトラブルシューティングに役立ちます。さらに、Fixload 6Mは、明確な部品追跡や、ガスシリンダやパーティクルトラップなどの消耗品のリアルタイムアラームなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を提供します。このソフトウェアを使用すると、変更をすばやくプログラムし、レシピを設定し、カスタマイズ可能な工場レポートを作成できます。サービスセンターは修理とメンテナンスサービスを提供し、BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mが期待通りに機能するようにしています。全体として、Fixload 6Mは、低負荷統計と優れたスループットと品質で一貫したパフォーマンスを提供するために最適化された、高度で信頼性が高く効率的なウェハハンドラです。その堅牢な機能と設計により、BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは半導体業界にとって最高クラスのソリューションとなります。