中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293635521 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、半導体製造におけるユニットサイズのウェハの高歩留まり処理を容易にするように設計されたウェハハンドラです。この汎用性の高いシングルカセット、複数のin-vialウエハハンドラは、シームレスで効率的なスループットを実現するために、ロードロックとロボットの遷移を最小限に抑えるように特別に設計されています。Fixload 6Mは、高速二軸ロボット、精密なマイクロバルブポジショナ、および最適化されたダブルエンドバイアルグリッパーを内蔵しています。ロボットとグリッパーは両方とも円形の軌道を持ち、ロボットの位置時間を最小限に抑え、他のプロセスへのロボットの可用性を最大化します。ウェーハをウェーハカセットからロードロック、インバイアル、または無菌操作と小さなフットプリントで他の処理段階に移動するように設計されています。マイクロバルブポジショナはロボットとは独立して動作し、柔軟なノズルをターゲットに正確に保持して作業負荷を低減します。この統合システムにより、ハンドリングエラーを最小限に抑えて高スループット動作を実現します。このマシンは、幅広いプロセス機器と互換性のある、フルスイートのインターフェイスオプションを誇っています。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、BROOKS AUTOMATIONフルスイートの先進技術と同様に、異なるメーカーの既存の機器と統合する機能を備えています。使いやすいモーションプランニングソフトウェアは、人間の介入を最小限に抑えて、すべての自動化、メンテナンス、監視を確実に行います。Fixload 6Mの統合設計により、ウェーハ処理の高速化と一貫性が向上します。最適化されたダブルエンドバイアルグリッパーは、さまざまなサイズと場所の複数のウェハを誤りなく効率的に送信し、ロボットとマイクロバルブポジショナーの並列移動は、精度と信頼性を向上させます。これは、最小のロードロックとロボットの遷移と相まって、スムーズでエラーのない処理を実現します。BROOKS AUTOMATION Fixload 6Mは、長期的な信頼性のための複数の安全機能を備えています。複数の安全システムが含まれており、機械オペレーターとロボットの両方を保護し、損傷や怪我のリスクを低減します。さらに、このマシンには複数の診断機能が内蔵されており、迅速かつ正確なトラブルシューティングを提供してアップタイムを最大化し、システム全体のダウンタイムを削減します。Fixload 6Mは、生産歩留まりの向上、コストの削減、安全性の向上を目指す半導体設備に最適です。高度な設計、統合技術、汎用性の高いインターフェースオプションを備えたこのウェーハハンドラは、高いレベルの卓越性を達成するために探している施設に最適です。