中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #9198292 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、半導体および集積回路ファウンドリで使用される超高性能ウエハハンドラです。高温高圧洗浄、ラピッドプロトタイピング、エレクトロニクスの急速バーンインに使用するために設計されています。高度なオートメーションとロボティクスにより、高度な半導体技術に最適です。Fixload 6は、ステンレスフレームに内蔵された自己完結型ユニットを備えています。このユニットには、6軸ロボットアーム、3軸ウェーハトランスポーター、およびウェーハを持ち上げて転送するためのウェーハエレベーターが含まれています。オプションでウエハマウンターを搭載し、ウエハをハンドラに取り付けることができます。ロボットアームは、内蔵のコントローラで完全にプログラム可能であり、手動で介入することなくウェーハを追跡して拾うことができます。ウエハエレベーターは900mmまで持ち上げることができます。ウェーハトランスポータはブラシレスDCモータによって駆動され、最大10m/sの速度で最大400kgのウェーハを輸送することができます。BROOKS AUTOMATION Fixload 6のロボティクスは、0。00076cm （7。6ミクロン）の解像度でウェーハをピックアップ、整列、搬送するように正確にプログラムできます。このユニットはまた、ウエハを正確に整列させるために2つのカメラを備えた統合ビジョンシステムを備えています。直径300mmまでの標準ウェハに対応可能です。Fixload 6は、超高精度で最大の生産性を実現するために構成されています。1時間あたり最大200ウェーハの高いスループットを実現しています。また、緊急停止やライトカーテンやホールドツーランロックなどの安全機能を備え、安全性を最大限に高めるために構築されています。ユニットはメンテナンスが容易な設計で、定期点検やメンテナンスのために外付けカバーを簡単に取り外すことができます。BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、半導体および集積回路基盤用に設計された強力で汎用性の高いウェハハンドラです。高度な半導体技術に最適です。高度な技術、ロボティクス、オートメーションを搭載し、高いスループットと超高精度でウェーハのピックアップ、アライメント、搬送が可能です。最大の安全性とメンテナンスの容易さのために構築されています。