中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293639259 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6ウェハンドラは、半導体やフォトニクスチップ製造に使用されるウェハーの効率的かつ正確な処理を可能にする高度な自動化装置です。このシステムは、高い再現性と精度でウェーハの移動と取り扱いを可能にする独自のロボット「ピックアンドプレイス」機能を搭載しています。Fixload 6はコンパクトなフットプリントで設計されており、メンテナンスを最小限に抑え、毎分40ウェーハ転送が可能です。このユニットには、セルフクリーニングサイクル、人間工学に基づいたロード/アンロードのインターフェース、直感的なプログラミング言語が備わっています。セラミックセンターポストを備えており、キャリアやプロセス機器など様々な場所で200mmと300mmのウェーハを安全かつ簡単に搬送することができます。BROOKS AUTOMATION Fixload 6のモジュール設計により、アプリケーションに応じたカスタマイズが可能です。そのフィーダーアームは、ウェーハの配置を正確に制御するために、上下左右に移動することができます。ウェーハレベルまたはチャンバーレベルハンドラなどのオプションのアップグレードにより、配置および検索プロセスの柔軟性が確保されます。ウエハハンドラは、衝突防止センサーやその他の保護機能で構成された高度な安全マシンも提供しています。Fixload 6は、1台あたり最大2台のキャリアに対応し、最大200台のウェーハキャリアをサポートし、高い生産スループットを実現します。これにより、プロセスチャンバ内およびプロセス外でのウェーハの短いサイクル時間と迅速な自動転送が可能になります。その柔軟で使いやすいカメラツールは、自動化の精度を向上させ、全体的なコストを削減します。BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、メーカーにとって信頼性と費用対効果の高いウェーハハンドリングソリューションであるように設計されています。高速で簡単な転送機能に加え、メンテナンス性が低く、堅牢な安全システムにより、さまざまな産業アプリケーションにとって魅力的な選択肢となります。また、高度なプログラミング機能により、生産プロセスの制御とカスタマイズが容易になります。