中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626365 を販売中

ID: 293626365
ヴィンテージ: 2012
Load port 2012 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界で使用される優れたウェハハンドラです。研究所、研究施設、生産設備などを提供する様々なウエハサイズや構造物を正確かつ信頼性の高いウエハハンドリングに対応できるように設計されています。Fixload 6は、その正確で信頼性の高い結果をサポートする多くの機能を提供しています。大容量のロードビーカー、タイトなスペースへの収納に最適なコンパクトサイズ、簡単な処分とクリーンアップのための取り外し可能な搬送チャンバー、正確なリフト制御、均一な振動周波数と振幅、および明確な読み取りのための明るいLEDディスプレイが含まれています。さらに、BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、スマートセンサーを使用して環境を監視し、ウェーハの完全性を確保するための正確なモーションコントロールを提供します。Fixload 6は、高いトルクとダイナミックな動きを提供する強力なサーボ制御モーターを備えています。この動作は、ウェーハの転送速度、リフト高さ、および持続時間を調整して、特定のウェーハタイプの目的の結果を達成するように設定できます。また、多数のウエハを取り扱う際の精度と精度を確保するために、ロードビーカー密度の変化を検出することができるフェロプロキシミティセンサーを内蔵しています。BROOKS AUTOMATION Fixload 6には5軸ジョイントも装備されており、ウェーハの取り扱いと転送を大幅に制御することができます。Fixload 6はメンテナンスとアップグレードも簡単です。これには、操作上の問題をユーザーに警告する自己診断機能が含まれています。ファームウェアおよびソフトウェアはリモートで更新され、管理することができスペアおよび交換部品は速く、容易な維持のために利用できます。全体として、BROOKS AUTOMATION Fixload 6は汎用性と信頼性の高いウェハハンドラです。さまざまなウエハの種類や構造に対して正確で信頼性の高いハンドリングを提供するように設計されており、その強力で汎用性の高いモーションコントロールとセンサー機能は、研究所、研究施設、生産施設に信頼できる性能を提供します。Fixload 6はメンテナンスとアップグレードも簡単で、信頼性の高い正確なウェーハハンドリングソリューションを探している管理チームに最適です。
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