中古 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364 を販売中

BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、半導体製造のために設計された高性能で完全自動化されたウェハハンドラです。Fixload 6は、100mmから300mmまでのウェーハに対応することができ、メインコントロールユニットとウェーハ配置および転送用のパワードカルーセルで構成されています。デュアルロックの安全扉、パスワード保護、および取り扱いウエハを監視および保護する内蔵センサーを備えた高度なマルチパス安全装置が含まれています。さらに、ウェーハを目的のステーションに誘導するウェーハトランスポートモジュール（WTM）を使用して設計されています。一方、Intelliflow （TM）アダプティブなリアルタイム制御技術は、ウェーハパスを継続的に調整および修正してスループットと効率を最大化し、ユニットの損傷を防止するために必要なタイミングを決定します。堅牢なBROOKS AUTOMATION Fixload 6は、リアルタイムのレシピ管理、ログレベルの精度、ウェーハセントリックトラッキング（TM）など、ウェーハのライフサイクル全体を最初から最後まで追跡する完全なトレーサビリティ機能も備えています。例外報告により、オペレータは問題をすばやく特定し、是正措置を推奨することができます。このマシンは、FPGA上で動作する高速コントローラと、精密かつ一定のウェーハ配置のための高精度、超精密、3軸ピエゾアクチュエータによって駆動されます。Fixload 6には、インターロックスイッチ、故障検出およびレポート、緊急停止ロジックなど、さまざまな安全およびアラーム機能が含まれています。BROOKS AUTOMATION Fixload 6は、3段階または4段階のウェーハ転送とハイドライブ、低トルク転送アーバを利用して、ウェーハのスループットを向上させるとともに、高い精度と精度を提供します。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度なオートメーションにより、迅速かつ簡単なセットアップとメンテナンスが可能です。最終的な結果は、可能な限り最高の歩留まりを持つウェーハの高速、信頼性の高い、正確な取り扱いです。