中古 BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433 を販売中

BROOKS AUTOMATION FabExpressウェハンドラーは、半導体業界に特化した自動転送モジュールです。半導体製造工程では、リソグラフィー工具、CVD工具、エッチャー、ウェットベンチなどの加工機器間のウェハ移動に使用されます。ウェーハハンドラは、最大200mmのウェーハを1時間あたり最大12個の速度で転送することができます。圧力または真空レベルで動作し、ウェーハの処理を厳密に制御することができます。FabExpressは、ウェーハ処理に信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高精度のウェーハダイシングモジュールを備えています。ダイシングモジュールは、正確な微調整を可能にし、ウェーハの正確な転送を可能にします。このモジュールには、高速カメラ装置とダイシングプロセスの精度を確保するためのレーザー検出システムが内蔵されています。ウェーハハンドラのセットアップと操作を簡素化するプログラム可能なビジョンユニットが用意されています。BROOKS AUTOMATION FabExpressウェハンドラは、サーボモータと空気圧アクチュエータの組み合わせを使用して、処理装置間でウェハを迅速かつ正確に転送します。また、正確なモーションコントロールを提供するプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えたモーションコントロールユニットも含まれています。モーションコントロールユニットは、効率的な操作を提供するために、複数のプロセスを同期するために使用することができます。このウェーハハンドラには、正確で重複しないウェーハの転送を確実にするための精密な光学機械システムが装備されています。これは、チャンバー内のウェーハを正確に操作することができる統合された真空チャンバーを持っています。この真空チャンバーは、正確な処理と再現性を実現する統合ロボットアームで設計されています。ウエハハンドラには、ウエハ検査用の自動ビジョンマシンが搭載されており、市場で最も自動化されたウエハハンドリングマシンを上回っています。In-situ vision inspectionを含む幅広い検査オプションがあり、オペレータはツールから取り外すことなくウェーハの品質を確認できます。FabExpressは、優れた処理精度と再現性を提供する信頼性の高いウェハハンドラです。センサーやインターロックなどの高度な安全機能を備え、プロセス制御と信頼性を最大限に高めています。このウエハハンドラは、ダウンタイムを最小限に抑えて24時間365日作動するように設計されています。また、サービス、メンテナンス、部品パッケージが付属しており、最小限の中断で最適なパフォーマンスを保証します。